PDC-MG型等离子清洗机是一款超清洗设备, 采用气体作为清洗介质,在短时间内能完全彻底地清除被清洗物表面的有机污染物,其清洗能力达到分子级。在微流控行业常作为PDMS芯片键合主要设备,可用于键合PDMS和PDMS、PDMS和玻璃,以及PDMS表面亲水改性
技术指标:
1.整机规格:500×300×300(长×宽×高)mm
2.整机重量:35 Kg3.清洗舱规格:Φ165×L210 mm (耐热玻璃)4.清洗舱有效容积:4.5 L
5.输入电源:220 V/50 Hz6.整机输入功率:400 W7.射频输出:0~150 W(连续可调)8.射频频率:13.56 MHz
9.数字式定时器范围:0~99.99 min
10.极限真空度:60 Pa
11.二路浮子流量计:0.2~1.5L/min量程,方便二种气体按比例混合
12.观察窗:观察清洗仓内辉光状态
13.常用工作气体:空气、氩气、氮气或混合气体
14.VRD-8型单相真空泵