PDC-MG型等离子清洗机是一款超清洗设备, 采用气体作为清洗介质，在短时间内能完全彻底地清除被清洗物表面的有机污染物，其清洗能力达到分子级。在微流控行业常作为PDMS芯片键合主要设备，可用于键合PDMS和PDMS、PDMS和玻璃，以及PDMS表面亲水改性
技术指标：
1.整机规格：500×300×300（长×宽×高）mm
2.整机重量：35 Kg 3.清洗舱规格：Φ165×L210 mm (耐热玻璃) 4.清洗舱有效容积：4.5 L
5.输入电源：220 V／50 Hz 6.整机输入功率：400 W 7.射频输出：0～150 W（连续可调） 8.射频频率：13.56 MHz
9.数字式定时器范围：0～99.99 min
10.极限真空度：60 Pa
11.二路浮子流量计：0.2~1.5L/min量程，方便二种气体按比例混合
12.观察窗：观察清洗仓内辉光状态
13.常用工作气体：空气、氩气、氮气或混合气体
14.VRD-8型单相真空泵
