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镀膜

镀膜一般是在真空环境下，将某种金属或非金属以气相的形式沉积到材料表面，形成一层致密的薄膜，镀膜质量对半导体器件的功能形成至关重要。

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镀膜技术：电子束蒸发、磁控溅射、LPCVD、PECVD、ALD

镀膜材料

金属：Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW90、Pd、Zn、Mo、W、Ta 、Nb等

非金属：Si、SiO2、SiNx、Al2O3、HFO2、MgF2、ITO、Ta2O5等

镀膜基底：硅片、石英玻璃片、蓝宝石片、PET、Pi等

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金属：Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW90、Pd、Zn、Mo、W、Ta 、Nb等

非金属：Si、SiO2、SiNx、Al2O3、HFO2、MgF2、ITO、Ta2O5等

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