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显影液的用途和参数问题——苏州深硅刻蚀

发表时间: 2022-10-31 20:44:27

作者: 聚图半导体(苏州)有限公司

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在半导体行业,会用到一种叫做显影液的液体。显影液指的是洗相片时适用的化学药剂,主要成分有硫酸、硝酸及苯、甲醇、卤化银、硼酸、对苯二酚等。有毒,不可直接接触肌肤,

在半导体行业,会用到一种叫做显影液的液体。显影液指的是洗相片时适用的化学药剂,主要成分有硫酸、硝酸及苯、甲醇、卤化银、硼酸、对苯二酚等。有毒,不可直接接触肌肤,会严重腐蚀。

显影液的主要成分是硫酸、硝酸及苯、甲醇、卤化银、硼酸、对苯二酚等,不仅可以用在半导体领域还有其他的用途。

主要用途:

银盐胶片显影用的药液称显影液。

用于黑白胶片显影的显影液称黑白显影液,用于彩色胶片显影的称彩色显影液。

显影液的主要成分是显影剂。为了完善性能,通常还加一些其他成分,诸如促进显影的促进剂,防止显影剂氧化的保护剂,防灰雾生成的灰雾抑制剂和防灰雾剂等。

通过对各组分不同用量的调配可以得到不同性能的显影液,如微粒显影液、高反差显影液等。

工业上说的显影剂,是针对半导体晶片而言。系列有显影剂、光刻胶等。

参数问题:

显影液的浓度是指显影剂的相对含量,即NaOH、Na2SiO3总含量。市场上销售的显影液多是浓缩型液体,使用时需要按比例稀释,显影液的浓度多以显影液的稀释比来表示。在其他条件不变的前提下,显影速度与显影液浓度成正比关系,即显影液浓度越大,显影速度越快。 当温度22℃,显影时间为60秒时,PD型显影液浓度对PS版性能的影响见表1(略)。从表中数据可看出,以3级干净为准的曝光量,PD型显影液浓度以1∶6为***。 当显影液浓度过大时,往往因显影速度过快而使显影操作不易控制;特别是它对图文基础的腐蚀性增强,容易造成 网点 缩小、残损、亮调小网点丢失及减薄涂层,从而造成耐印力下降等弊病;同时空白部位的氧化膜和封孔层也会受到腐蚀和破坏,版面出现发白现象,使印版的亲水性和耐磨性变差。显影液浓度大,还易有结晶析出。 当显影液的浓度偏低时,碱性弱,显影速度慢,易出现显影不净、版面起脏、暗调小白点糊死等现象。

编辑:www.szjtnano.com   苏州深硅刻蚀


显影液的用途和参数问题——苏州深硅刻蚀
在半导体行业,会用到一种叫做显影液的液体。显影液指的是洗相片时适用的化学药剂,主要成分有硫酸、硝酸及苯、甲醇、卤化银、硼酸、对苯二酚等。有毒,不可直接接触肌肤,
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